دراسة تأثير درجة حرارة الركيزة على خصائص الناقلية الكهربائية للأفلام الرقيقة المحضرة من السيلكون المهدرج غير المتبلور بطريقة التذرية

Authors

  • حسن سليمان

Abstract

قمنا في هذا البحث بدراسة تأثير درجة حرارة الركيزة على كل من الناقلية الكهربائية المظلمة والناقلية الكهرضوئية للأفلام الرقيقة المحضرة من السيلكون المهدرج غير المتبلور (a-Si:H) بطريقة التذرية، وعرضنا نتائج حساب نسبة الناقلية الضوئية إلى الناقلية الكهربائية المظلمة. ومن ثم عينا درجة الحرارة الحدية للركيزة الموافقة للقيمة العظمى لنسبة الناقلية الضوئية إلى الناقلية المظلمة والتغير الحاد في متحولات الناقلية المظلمة للسيلكون المهدرج غير المتبلور. علاوة على ذلك عرضنا نتائج دراسة مقاومة تماس الجملة المكونة من الفلم الرقيق a-Si:H/النيكل عند تغير درجة حرارة الركيزة.

In this search, we studied the influence of the substrate temperature on the electrical and photo-conductivities of thin films prepared from amorphous hydrogenated silicon (a-Si:H) by sputtering, Details of the results of the calculation of the photoconductivity to the dark conductivity ratio are shown. Then, the critical substrate temperature, which consists of maximum value of photoconductivity to dark conductivity ratio and critical change of dark conductivity parameters of amorphous hydrogenated silicon, is also determined. In additional, the results of studying the contact resistance of thin film/nickel system at the substrate temperature change are shown.

Downloads

Published

2018-12-05

How to Cite

1.
سليمان ح. دراسة تأثير درجة حرارة الركيزة على خصائص الناقلية الكهربائية للأفلام الرقيقة المحضرة من السيلكون المهدرج غير المتبلور بطريقة التذرية. TUJ-BA [Internet]. 2018Dec.5 [cited 2024May11];30(4). Available from: https://journal.tishreen.edu.sy/index.php/bassnc/article/view/5084

Issue

Vol. 30 No. 4 (2008): العلوم الأساسية

Section

Articles

License

Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial-ShareAlike 4.0 International License.

The authors retain the copyright and grant the right to publish in the magazine for the first time with the transfer of the commercial right to the Tishreen University Journal -Basic Sciences Series  

 Under a CC BY- NC-SA 04 license that allows others to share the work with of the work's authorship and initial publication in this journal. Authors can use a copy of their articles in their scientific activity, and on their scientific websites, provided that the place of publication is indicted in Tishreen University Journal -Basic Sciences Series .  The Readers have the right to send, print and subscribe to the initial version of the article, and the title of Tishreen University Journal -Basic Sciences Series   Publisher

 

journal uses a CC BY-NC-SA license which mean

You are free to:

  • Adapt — remix, transform, and build upon the material
  •  
  • The licensor cannot revoke these freedoms as long as you follow the license terms.

 

  • Attribution — You must give appropriate credit, provide a link to the license, and indicate if changes were made. You may do so in any reasonable manner, but not in any way that suggests the licensor endorses you or your use.
  • NonCommercial — You may not use the material for commercial purposes.
  • ShareAlike — If you remix, transform, or build upon the material, you must distribute your contributions under the same license as the original.
  • No additional restrictions — You may not apply legal terms or technological measures that legally restrict others from doing anything the license permits.